真空鍍膜對(duì)環(huán)境的要求

隨著鍍膜技術(shù)的快速增長，各種類型的真空鍍膜機(jī)也開始逐漸出現(xiàn)，但是論起薄膜的均勻性，所有的真空設(shè)備鍍制的薄膜的均勻性會(huì)受到某些因素影響，因此真空鍍膜對(duì)環(huán)境是有一定要求的：

加工真空鍍膜工藝襯底（基片）表面的清潔處理很重要。基片進(jìn)入鍍膜室前應(yīng)均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理，達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的。

基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物；零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜；零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清洗方法將其去掉。

對(duì)經(jīng)過清洗處理的清潔表面，不能再大氣環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳?xì)浠衔镎羝奈綔p至最小。因?yàn)檫@些容器有限吸附碳?xì)浠衔?。?duì)于高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。

清除鍍膜室內(nèi)的灰塵，設(shè)置清潔度高的工作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求。空氣濕度大的地區(qū)，除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外，還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴(kuò)散泵返油，對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。