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    1. 真空鍍膜對(duì)環(huán)境的要求

      2021-07-30


      隨著鍍膜技術(shù)的快速增長,各種類型的真空鍍膜機(jī)也開始逐漸出現(xiàn),但是論起薄膜的均勻性,所有的真空設(shè)備鍍制的薄膜的均勻性會(huì)受到某些因素影響,因此真空鍍膜對(duì)環(huán)境是有一定要求的:

      加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要。基片進(jìn)入鍍膜室前應(yīng)均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的。

      基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清洗方法將其去掉。

      對(duì)經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能再大氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎羝奈綔p至最小。因?yàn)檫@些容器有限吸附碳?xì)浠衔?。?duì)于高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。

      清除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求。空氣濕度大的地區(qū),除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。


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