影響薄膜折射率的因素

薄膜的折射率決定于好幾個因素：

1.組成膜的化學(xué)元素有關(guān)：對于化合物材料來說，共價鍵者比離子鍵者有較高的折射率，因為共價鍵化合物的離子性小易被極化。

2.與構(gòu)成膜的晶態(tài)有關(guān)：不同的蒸鍍條件下，薄膜的晶態(tài)會不同，因而造成了不同的折射率。

3.與成膜的晶粒大小及堆積密度有關(guān)：組成膜層的晶粒大小及堆積密度會影響膜層的折射率。而影響膜層的晶?；虼蠡蛐?，堆積密度或緊或松與基板溫度，蒸鍍時的氣壓有關(guān)。一般來講，溫度越高，氣壓越低則晶粒越大，堆積密度越高。

4.與膜的化學(xué)成分有關(guān)：在蒸鍍過程中材料的化學(xué)成分有時會分解，然后再結(jié)合，因此會造成化學(xué)成分的變化。